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GD90-RF射頻輝光放電質(zhì)譜儀是一個(gè)專為高精度元素分析所設(shè)計(jì)的高分辨輝光放電質(zhì)譜儀。此輝光放電質(zhì)譜儀（GDMS）提供了固體金屬與緣體的直接分析檢測。它具有非常寬的元素覆蓋范圍，可得到超過70種元素的有效數(shù)據(jù)，靈敏度高，輕元素重元素均可。
GD-90輝光放電質(zhì)譜儀應(yīng)用高純固體材料的分析檢測。在材料元素分析檢測中，溶解性的液體分析方式效率低，由于需要稀釋的緣故，導(dǎo)致固體檢出限不夠，不能適應(yīng)高純分析的需求，而傳統(tǒng)的直讀光譜分析方式無法滿足大于99.99%的分析精度要求。GD90輝光放電質(zhì)譜儀的檢出限都在PPB的級(jí)別，利用的是二級(jí)離子質(zhì)譜。
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